羅茨泵維修時關于極限真空是其的重要參數之一，其含義是在嚴密封閉泵的入口時，經較長時間運轉所能達到的高真空度。因常用壓力表示，故又稱極限壓力。從特性曲線中可以看出，當羅茨泵達到極限真空時，通過泵入口的正向氣流量為零，即泵的實際抽速為零。如果與前級真空串聯工作，由于氣流連續性，此時前級泵也同時達到極限真空。